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1、電子半導體廢水的種類(lèi)
由于半導體公司的產(chǎn)品不同,各公司生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的廢水種類(lèi)都不一樣,各公司對產(chǎn)生的廢水來(lái)源不一樣所進(jìn)行的分類(lèi)也不一樣??偟膩?lái)水,半導體行業(yè)的廢水可以分為含氟廢水、含磷廢水、有機廢水、研磨廢水、氨氮廢水和酸堿廢水。如無(wú)錫華潤上華沒(méi)有含磷廢水,上海天馬沒(méi)有研磨廢水。
2、電子半導體廢水的來(lái)源
含氟廢水主要來(lái)源于來(lái)自于自芯片制造過(guò)程中的擴散工序及化學(xué)機械研磨工序,在對硅片及相關(guān)器皿的清洗過(guò)程中也多次用到氫氟酸。對粘膜、上呼吸道、眼睛、皮膚組織有極強的破壞作用。污染物主要為氟離子。含磷廢水主要來(lái)源于生產(chǎn)工程中的鋁刻蝕液。有機廢水,由于生產(chǎn)工藝的不同,有機溶劑的使用量對于半導體行業(yè)而言具有很大的差距。但是作為清洗劑,有機溶劑仍然普遍使用在制造封裝的各個(gè)環(huán)節上。部分溶劑則成為有機廢水排放。有機廢水主要來(lái)源于IPA溶劑、顯影液、TO刻蝕液、酸洗塔酸堿廢水、酸洗塔有機廢水。
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